检查流量仪表故障的原则是先工艺后仪表。由于工艺的原因，工艺负荷变化；工艺的实际流量太小超过了仪表测量死区；干饱和蒸汽变成了两相流的湿蒸汽；过热蒸汽变为饱和蒸汽，蒸汽相变将导致密度变化；工艺管道满足不了仪表安装要求等因素，都会使流量测量出现误差或出现流量显示不正常的问题。因此，应与工艺联系，确认工艺正常后，再对流量仪表进行检查和处理。
与其他工艺参数相比，流量参数的波动较频繁，为了判断流量参数的波动原因，可将控制系统切换至手动观察波动情况，如流量曲线波动仍较频繁，一般为工艺原因，如波动减小，一般是仪表原因或参数整定不当引起的。流量的显示值在较长时间内不变化，可能是仪表有问题，因为流量参数是不可能很稳定的。
流量显示值变为最大时，对流量控制系统，可手动操作调节阀，看流量能否降下来，如果流量仍然降不下来，大多是仪表的原因，先检查现场仪表有无故障。
流量测量、控制系统的流量显示值变为最小，除工艺原因外（如停车、停机泵、工艺管堵塞等），通常流量显示值是不应该为最小的，否则故障大多是由仪表原因造成的。
出现流量显示几乎为零时，最好向工艺操作人员询问并落实原因，如果工艺条件正常，就应检查现场仪表。变送器导压管的正管堵塞、变送器正压室泄漏；浮子流量计浮子卡住；椭圆齿轮流量计的椭圆齿轮卡、过滤网堵塞、发讯簧片失效等，都会造成流量显示几乎为零的故障。对流量控制系统，应切换至手动操作状态，然后观察调节阀的状态。如阀门开度为零，则大多为仪表或控制系统的原因，如控制器或调节阀单元有故障。
差压式流量计出故障时，首先检查导压管、阀门及管路附件，有无泄漏、堵塞现象，然后再检查变送器及相关附件，如隔离器、安全栅等，如果现场仪表都正常，再检查控制室相关仪表。
检查变送器或转换器的故障时，要先检查现场的仪表及附件，无电流输出，检查供电电源是否正常，接线有无断路，安全栅是否正常，输出电流有偏差，可用标准表测量来判断。输出电流波动，在排除工艺的原因后，应检查阻尼时间的设置是否合适。电磁流量计应检查前后法兰及壳体的接地是否正常。
流量显示偏高、偏低、显示不正确，先检查仪表及变送器的零点是否正确；然后再检查参数的设置是否正确，如流量标定系数、流量单位、量程等参数。导压管路有无泄漏；导压管路中的气体带液，或者液体带气；流量计的直管段长度不足；传感器安装不合理等；把有开方功能及不具有开方功能的变送器混用了，也会出现以上的故障现象。
没有流量有显示是指工艺管道已确定没有流量了，但仪表仍有流量显示值。先检查变送器及仪表的零位是否正确；然后再检查参数的设置是否正确。还应检查变送器的安装位置是否存在液柱静压力的影响问题，必要时可通过迁移来消除影响。变送器出现故障也会出现有输出电流的问题，可通过检查来判断。
